鋭角回折格子の超精密シェーパ加工におけるバリの抑制

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Abstract

<p>ミクロンオーダの微細なV溝からなる回折格子の超精密切削加工において，稜線に生じるバリは回折効率の低下につながる重大な欠陥である．特に，溝形状を樹脂等に転写してレプリカを作成するための金型の加工においては，バリは離型を妨げる要因となるため一切許容できない．本研究では，特にバリの生じやすい鋭角の頂点を有するV溝の加工について，バリの発生メカニズムおよびこれを抑制する方法について検討した．</p>

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  • CRID
    1390001277345914880
  • NII Article ID
    130007702760
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2019s.0_678
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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