機能性酸化物ナノエレクトロニクスの現状と展望―半導体デバイスの研究開発を加速する新材料と新原理

DOI Web Site 参考文献76件
  • 秋永 広幸
    独立行政法人産業技術総合研究所　ナノデバイスセンター

書誌事項

タイトル別名
  • Recent advances and prospects in functional-oxide nanoelectronics: The emerging materials and novel functionality that are accelerating semiconductor-device R&D
  • キノウセイ サンカブツ ナノエレクトロニクス ノ ゲンジョウ ト テンボウ : ハンドウタイ デバイス ノ ケンキュウ カイハツ オ カソク スル シン ザイリョウ ト シン ゲンリ

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説明

<p>ナノエレクトロニクスは産業，そして社会を支える基盤である．最近では，新しいナノ材料やナノ構造がそのデバイス作製プロセスに融合されることによって豊かな発展をみせている．本報告では，その典型的な例として，強相関電子相転移および電流誘起酸化還元反応を用いた機能性酸化物デバイス研究開発の現状と将来展望を述べる．さらに，新材料や新構造をテクノロジーとして体系化し，ナノエレクトロニクス分野におけるエコ・テクノロジー・ブースタとして活用する研究開発の仕組みについて提言を行う．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 81 (12), 980-989, 2012-12-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (76)*注記

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