High frequency transmission property of fine pattern CPW lines fabricated by SAP and Damascene process
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- SAPとダマシン工程による微細CPW伝送線路の高周波伝送特性評価
- SAP工法とダマシン工程による微細CPW伝送線路の高周波伝送特性評価
- SAP コウホウ ト ダマシン コウテイ ニ ヨル ビサイ CPW デンソウ センロ ノ コウシュウハ デンソウ トクセイ ヒョウカ
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Journal
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- Proceedings of Microelectronics Symposium
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Proceedings of Microelectronics Symposium 27 (0), 339-342, 2017
The Japan Institute of Electronics Packaging
