スクイーズフィルムダンピング抵抗の制御によるMEMSマイクロフォンの高SNR化

DOI Web Site Web Site 参考文献6件
  • 井上 匡志
    オムロン（株）事業開発本部マイクロデバイス事業推進部
  • 内田 雄喜
    オムロン（株）事業開発本部マイクロデバイス事業推進部
  • 石本 浩一
    オムロン（株）事業開発本部マイクロデバイス事業推進部
  • 堀本 恭弘
    オムロン（株）事業開発本部マイクロデバイス事業推進部

書誌事項

タイトル別名
  • Optimized Design of Squeeze-film Damping Toward High SNR MEMS Microphone
  • スクイーズフィルムダンピング テイコウ ノ セイギョ ニ ヨル MEMS マイクロフォン ノ コウSNRカ

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抄録

<p>In this paper, we propose a design approach for MEMS microphone that achieves SNR over 68 dB. Squeeze-film damping resistance was calculated for various diameter/pitch of acoustic holes arranged in backplate. Output noise level was estimated by equivalent circuit model. We show optimization method that considers capacitance change, process stability and mechanical robustness. Noise spectrum and SNR simulated by this method showed good agreement with experimental data. The results emphasize the importance of total optimization for MEMS-ASIC-package system. This design approach is expected to be applied to a variety of MEMS sensors that are susceptible to squeeze-film damping effect.</p>

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