スクリーンオフセット印刷装置の開発と高品質配線形成

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タイトル別名
  • Development of a screen-offset printing machine for fine patterning

抄録

スクリーンオフセット印刷法は、(i)シリコーンゴムブランケット上にインクをスクリーン印刷し、(ii)そこから基材にインクを転写する手法である。シリコーンゴムがインク中の溶剤を吸収するため濡れ広がりが抑制され、その結果、従来のスクリーン印刷に比べ微細なパターンが形成できる。これまでは手刷り印刷機で幅50μmの線までしか形成できていなかったが、今回はシリンダー式スクリーン印刷装置をベースにした自動印刷装置の開発を行い、当該装置を用いることでL/S=20/20μmの微細線も形成することができた。本発表では、印刷装置の概要と印刷実験の結果を中心に説明しつつ、デバイス応用についても述べたい。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001288049995648
  • NII論文ID
    130007428716
  • DOI
    10.11486/ejisso.28.0_289
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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