繰り返しナノインデンテーションにおける単結晶ゲルマニウムの相変態挙動に関する研究

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抄録

<p>重要な半導体材料である単結晶ゲルマニウムは機械加工において物性の変化を伴う相変態を起こすが，そのメカニズムは未だ不明瞭である．本研究では単結晶ゲルマニウムの繰り返しナノインデンテーションを行い，新たな相変態挙動の解明に取り組んだ．その結果，最初の除荷後，再度負荷する前に保持する荷重の大きさに応じて相変態が促進，あるいは抑制されるなど通常のナノインデンテーションと異なる挙動を示すことを明らかにした．</p>

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  • CRID
    1390001288064016384
  • NII論文ID
    130007480436
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018s.0_49
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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