磁気混合流体を用いた微細形状表面に対する精密研磨特性

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  • 清水 達也
    富山高等専門学校 専攻科 エコデザイン工学専攻
  • 松葉 寿明
    富山高等専門学校 専攻科 エコデザイン工学専攻
  • 木下 豊章
    富山高等専門学校 電気制御システム工学科
  • 山本 久嗣
    富山高等専門学校 ソリューションセンター
  • 西田 均
    富山高等専門学校 電気制御システム工学科
  • 百生 登
    富山高等専門学校 電気制御システム工学科

書誌事項

タイトル別名
  • Characteristics of Precision Polishing for Surface with Micro Shape Utilizing a Magnetic Compound Fluid

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