書誌事項
- タイトル別名
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- Prospects of Cluster Secondary Ion Mass spectrometry
- クラスター二次イオン質量分析計の展望--帯電液滴衝撃/二次イオン質量分析計の進展
- クラスター 2ジ イオン シツリョウ ブンセキケイ ノ テンボウ タイデン エキテキ ショウゲキ 2ジ イオン シツリョウ ブンセキケイ ノ シンテン
- ―帯電液滴衝撃/二次イオン質量分析計の進展―
- -Development of Electrospray Droplet Impact- Secondary Ion Mass Spectrometer-
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説明
<p> 最近の飛行時間型二次イオン質量分析法（Time of flight secondary ion mass spectrometry, TOF-SIMS）は，一次イオンとしてSF5+，Au3+，C60+といったクラスターイオン源を装着したTOF-SIMSが実用化されてきている．クラスターイオンは高質量二次イオンの高収率化や非破壊的に材料表面をスパッタリングするなどの利点を有している．しかし生体材料などライフサイエンス材料分析ではさらなる二次イオンの高収率化が要求されてきている．これら材料分析のため，最近よりサイズの大きなクラスターイオンの研究が盛んに行われている．ここでは，最新の巨大クラスターイオン（帯電液滴）を用いたSIMSの現状を報告する．</p>
収録刊行物
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- Journal of Surface Analysis
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Journal of Surface Analysis 14 (3), 214-224, 2008
一般社団法人 表面分析研究会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001288082636800
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- NII論文ID
- 130007498581
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- NII書誌ID
- AA11448771
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- ISSN
- 13478400
- 13411756
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- NDL書誌ID
- 9513903
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
