可搬型超高真空試料搬送導入装置を用いた金属表面の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of meatal surface using a portable ultrahigh-vacuum sample transfer vessel
- 公開日
- 2018
- DOI
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- 10.14886/sssj2008.2018.0_252
- 公開者
- 公益社団法人 日本表面真空学会
説明
可搬型超高真空試料搬送導入装置は触媒や電池材料など活性な試料の搬送には重要な装置であり、その搬送の際の試料の汚染を知ることは重要である。今回は、真空蒸着法で膜厚の異なる二種類のアルミ薄膜を作製し、可搬型超高真空試料搬送導入装置を用いて薄膜作製装置から分析装置に搬送した。そのアルミ薄膜は光電子分光法により搬送中の炭素汚染や酸化を分析した。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 252-, 2018
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001288092267008
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- NII論文ID
- 130007519176
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可