放射光走査型光電子顕微分光におけるスペクトルイメージングデータ解析の機械学習による高速化
書誌事項
- タイトル別名
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- High-throughput spectrum imaging data analysis of synchrotron X-ray photoelectron microscopy using machine learning
説明
走査型光電子顕微分光において従来の2次元スペクトルイメージングに加え、深さ分析やデバイス動作中オペランド測定を行ってパラメータが増加すると、データ量が膨大になる。この大規模スペクトルデータを効率的に処理して物性解釈につなげるために、機械学習の枠組みを利用して、計算時間コストの低い高速自動ピーク分離のアルゴリズム開発を行った。講演ではトランジスタなど様々な実計測データへの適用例を紹介する。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 126-, 2018
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001288094291840
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- NII論文ID
- 130007519059
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可