高能率鏡面研磨用砥粒（MeCCA）の開発

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タイトル別名
  • Development of high-rate mirror polishing abrasive (MeCCA)
  • 高能率鏡面研磨用砥粒(MeCCA)の開発 : サファイアに対する湿式研磨性能およびウェーハ品質評価
  • コウノウリツ キョウメン ケンマヨウトリュウ(MeCCA)ノ カイハツ : サファイア ニ タイスル シッシキ ケンマ セイノウ オヨビ ウェーハ ヒンシツ ヒョウカ
  • 1<SUP>st</SUP>Report:wet polishing characteristics and evaluation of sapphire wafer
  • ～サファイアに対する湿式研磨性能およびウェーハ品質評価～

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説明

サファイア，SiC，GaNに代表される高硬度結晶材料はグリーンエネルギーやグリーンデバイス用途の基板として注目されている．これらの材料は研磨加工に長時間を要するため，ダメージの少ない鏡面研磨が実現できれば有益である．本研究では，湿式メカノケミカルポリッシングを可能とする新規な砥粒（MeCCA）を開発し，研磨性能を調査した．その結果，サファイアに対してダイヤモンドスラリーと同等の除去能率で0.466nm Raの鏡面創成が実現できた．

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