同軸型直線導入機を用いた試料搬送導入装置の開発

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タイトル別名
  • Development of a sample transfer vessel by using a coaxial type linear motion feedthrough
  • ドウジクガタ チョクセン ドウニュウキ オ モチイタ シリョウ ハンソウ ドウニュウ ソウチ ノ カイハツ

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抄録

同軸型直線導入機，真空容器，そして試料格納部から構成されたコンパクトな試料搬送導入装置を開発した．試料格納部は真空に引いたり，不活性ガスで置換することができ，試料を大気に曝すことなく分析装置へ移動し分析を行うことができる．試料格納部の到達圧力は ∼ 4.6 × 10-4 Paであり，20日間もの期間，1 × 10-3 Pa以下に保持可能であることを確認した．本装置にアルゴンスパッタし，清浄表面を形成したアルミ箔を41時間保管した．その時，表面には ∼ 1.0 nmの酸化膜が生成された．その酸化膜厚は自然酸化膜の1 ⁄ 4程度であった

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