同時計測法で探る多価イオン励起固体表面からの二次イオン放出(最近の研究から)

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タイトル別名
  • Coincidence Measurement Study of Secondary-Ion Emission from Solid Surfaces Excited with Multi-Charge Ions(Current Topics)
  • 同時計測法で探る多価イオン励起固体表面からの二次イオン放出
  • ドウジ ケイソクホウ デ サグル タカ イオンレイキコタイ ヒョウメン カラ ノ 2ジ イオン ホウシュツ

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抄録

多価イオンが固体表面に接近すると,表面から多価イオンへの電子の移行と,これに起因する二次粒子放出,すなわちポテンシャルスパッタリングが起こると考えられているが,その詳細はよく分かっていない.本研究では,その原子過程を詳細に調べるため,表面で反射した散乱イオンと,表面から放出された二次イオンの同時計測を行った.その結果,イオン散乱過程と電子遷移誘起脱離の関係が手に取るように分かり,ポテンシャルスパッタリングの詳細が明らかになってきた.

収録刊行物

  • 日本物理学会誌

    日本物理学会誌 65 (8), 629-633, 2010-08-05

    一般社団法人 日本物理学会

参考文献 (35)*注記

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