Ellipsometric Microscope ―Design and Application of a Microscope for Oblique Observation of Samples―
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- JIN Lianhua
- 山梨大学
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- UEHARA Makoto
- (株)目白67
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- GELLOZ Bernard
- 名古屋大学
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- KONDOH Eiichi
- 山梨大学
Bibliographic Information
- Other Title
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- エリプソメトリック顕微鏡 ～斜め観測用光学顕微鏡の設計からその応用まで～
- エリプソメトリック ケンビキョウ : ナナメ カンソクヨウ コウガク ケンビキョウ ノ セッケイ カラ ソノ オウヨウ マデ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 86 (7), 533-536, 2020-07-05
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390003825195990016
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- NII Article ID
- 130007869392
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 030561620
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles