超短パルスレーザーによる大面積微細加工技術

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タイトル別名
  • Large Area Micro-Pattern Fabrications Using Ultra-Short Pulse Laser
  • Laser Review 超短パルスレーザーによる大面積微細加工技術
  • Laser Review チョウタンパルスレーザー ニ ヨル ダイ メンセキ ビサイ カコウ ギジュツ

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抄録

Laser direct machining has much attractive potential beyond traditional mechanical machining. We have been developing a micro-pattern fabrication system using an ultra-short pulse laser and are adapting this it to a large area with our high precision mechanical system. Our system is composed of a 1-axis highly accurate laser scan unit, a high precision positioning XY table, and a laser-machine synchronized controller. We realized a scanning system in a 120-mm scanning line, where the laser-focused points line up within error of 2-μm. In our spherical, 50-μm diameter, 25-μm deep sample, we realized formerror under ± 2-μm. With a high-speed scanning system, about 240-ms is required to make one shape. This means it takes a month to process a A4 size mold. Therefore, our next development target is a process that is five times faster.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 41 (10), 801-, 2013

    一般社団法人 レーザー学会

参考文献 (17)*注記

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