レーザー誘起背面湿式加工法によるガラス材料の微細加工

DOI Web Site Web Site 参考文献9件
  • 新納 弘之
    （国研）産業技術総合研究所 機能化学研究部門
  • 川口 喜三
    （国研）産業技術総合研究所 機能化学研究部門
  • 佐藤 正健
    （国研）産業技術総合研究所 機能化学研究部門
  • 奈良崎 愛子
    （国研）産業技術総合研究所 機能化学研究部門

書誌事項

タイトル別名
  • Surface Microstructuring of Glass Materials by Laser-Induced Backside Wet Etching
  • レーザー ユウキ ハイメン シッシキ カコウホウ ニ ヨル ガラス ザイリョウ ノ ビサイ カコウ

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抄録

We review a one-step method to fabricate microstructure on a glass plate using laser-induced backside wet etching (LIBWE). The LIBWE method is based on liquid laser ablation with a conventional pulsed laser at UV or visible wavelength. We fabricated a well-defined deep microarray without cracks or chipping formations on the glass plate by the LIBWE method. The system allows us to use the rapid prototyping of the high precision surface microfabrication of glass and other transparent materials as laser direct-write processing in a conventional atmospheric environment.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 45 (5), 273-, 2017

    一般社団法人 レーザー学会

参考文献 (9)*注記

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