Development of absolute length measurement method using pulsed interferometry and etalon

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Bibliographic Information

Other Title
  • 光コムパルス干渉とエタロンを用いた絶対測長手法の開発
  • Measurement and evaluation of gauge-block length
  • ブロックゲージの測長と評価

Description

<p>先行研究において、ファイバ型エタロンが開発され、光コムによるパルス干渉に応用した絶対測長手法が提案されている。本報告では、提案手法によりブロックゲージを対象として測長を行い、この値を校正値と比較して評価する。実験の結果、52 mm程度のブロックゲージが100 nm程度の繰り返し精度で測定され、測定値はブロックゲージの校正値とそれぞれの不確かさの範囲で一致を示した。これにより、提案手法の妥当性が示された。</p>

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390005667265260160
  • NII Article ID
    130007988913
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2020a.0_368
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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