短パルスレーザを用いた高効率深紫外 LED 実現の為の p-AlGaN の ドーパント高活性化, 並びに低抵抗電極の形成法の開発

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  • 神谷 格
    豊田工業大学 工学（系）研究科（研究院）

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  • タンパルスレーザ オ モチイタ コウコウリツシンシガイ LED ジツゲン ノ タメ ノ p-AlGaN ノ ドーパント コウカッセイカ,ナラビニ テイテイコウ デンキョク ノ ケイセイホウ ノ カイハツ

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