ナノインプリント用金型の加工技術

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  • Taniguchi Jun
    東京理科大学　基礎工学部　電子応用工学科

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  • ナノインプリントヨウ カナガタ ノ カコウ ギジュツ

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  • Seikei-Kakou

    Seikei-Kakou 19 (5), 254-258, 2007-05-20

    The Japan Society of Polymer Processing

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