光照射技術によるスパッタ成膜フレキシブル透明導電膜の特性向上

DOI Web Site Web Site 参考文献5件
  • 野本 淳一
    （国研）産業技術総合研究所 先進コーティング技術研究センター
  • 山口 巖
    （国研）産業技術総合研究所 先進コーティング技術研究センター
  • 中島 智彦
    （国研）産業技術総合研究所 先進コーティング技術研究センター
  • 土屋 哲男
    （国研）産業技術総合研究所 先進コーティング技術研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Characteristics Enhancement of Magnetron Sputtered Flexible Transparent Conductive Film by Excimer Laser Irradiation Technology
  • ヒカリ ショウシャ ギジュツ ニ ヨル スパッタセイマク フレキシブル トウメイ ドウデンマク ノ トクセイ コウジョウ

この論文をさがす

収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 71 (11), 672-676, 2020-11-01

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (5)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ