β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 単結晶中の結晶欠陥のＸ線トポグラフィ観察

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • X-ray Topography Observation of β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Single Crystals

説明

β-Ga2O3 単結晶基板中に存在する結晶欠陥の種類や構造に関する知見を得るため、放射光Ｘ線トポグラフィによる測定を実施した。その結果、<010>に平行なバーガースベクトルを有する転位もしくは積層欠陥が測定領域全体に高密度に存在していることが分かった。これらの結晶欠陥はさらに、バーガースベクトルの大きさの異なる2種に分類されるものと考えられる。これらに加えて、回折ベクトル g = 4‾06、8‾24 のいずれにも垂直でないバーガースベクトルを有する2種類の結晶欠陥が存在することが分かった。これらの結晶欠陥は前述のものよりも密度が低く、測定領域内に不均一な密度で存在していた。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390007691441387136
  • NII論文ID
    130008078704
  • DOI
    10.18957/rr.9.5.362
  • ISSN
    21876886
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ