高密度水素プラズマ曝露による銀表面のナノポーラス化挙動の観察
説明
<p>我々は、無毒廉価な水素ガスのみを用いて、バイオセンサーなどに利用可能な金属表面へのナノポーラス構造の創成を試みている。今回、銀試料を中圧域で生成した高密度水素プラズマに曝露し、電力等の処理パラメータとナノポーラス銀の形成特性(孔径、孔の面密度、表面、ならびに断面形態)の相関を調べた。また、得られた結果からナノポーラス構造形成メカニズムを考察した。本報告では、その結果を述べる。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 721-722, 2021-03-03
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390007779708045440
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- NII論文ID
- 130008084284
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可