SNR70dB超のCMOSイメージセンサと半値幅10nmのチューナブルマルチバンドパスフィルタを用いた分光イメージングシステム

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  • A Spectral Imaging System with an Over 70dB SNR CMOS Image Sensor and Electrically Tunable 10nm FWHM Multi-Bandpass Filter
  • SNR 70dB チョウ ノ CMOS イメージセンサ ト ハンネハバ 10nm ノ チューナブルマルチバンドパスフィルタ オ モチイタ ブンコウ イメージング システム

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抄録

高い信号対雑音比(SNR)と広光波長帯域において高い感度を有するCMOSイメージセンサ(CIS)と，透過ピーク波長を狭い半値幅で電気的に可変なマルチバンドパスフィルタを用いた分光イメージングシステムについて述べる．設計・試作したイメージセンサが71dBのSNR，1.5×10＾7 e- の飽和電荷数(FWC)，190-1100nmにおける高い量子効率を達成していることを確認した．また，開発したチューナブルマルチバンドパスフィルタが630nm，800nm，960nm，1050nmの4波長をそれぞれ10nmの半値幅で選択可能であることを示した．構築したイメージングシステムを用い，Siの感度波長帯域で水とグルコースの吸収が起きる960nmと1050nmの2波長で5mg/dlのグルコースが生理食塩水中を拡散する様子を撮影することに成功した．

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