書誌事項
- タイトル別名
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- Mechanical Properties of DLC Coatings Prepared on PPS by RF Plasma CVD
- RFプラズマCVDホウ オ モチイテ PPSジョウ ニ ケイセイ シタ DLCマク ノ キカイテキ トクセイ
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説明
本論文では、RFプラズマCVD法を用いてPPS(ポリフェニレンサルファイド)上にDLC膜の形成を報告した。基板の表面粗さは,おおよそRa0.1mmに調製され、100から400Wの異なるRF出力で4つのタイプの試料が準備された。膜厚は2.0mmに制御された。皮膜構造や粗さは、ラマン分光分析や表面粗さ測定、SEMによる表面観察、硬さ試験、スクラッチ試験により評価された。摩擦/摩耗特性はボールオンディスク摩擦試験機にて評価された。SUS304、SUJ2、ZrO2、そしてSi3N4のボールが摩擦試験の相手材に使われた。摩擦試験後、試料と相手材の摩擦係数や比摩耗量が計算された。RaはRF出力300Wまでは減少したが、400WのRaは300Wよりも皮膜表面の亀裂のために大きかった。ダイナミック硬さは、RF出力の増加に伴い増大した。RF300WのDLC膜の密着性は最も良好であったが、付着力は400Wの方が良いようであった。RF300Wおよび400WのDLC膜は、相手材料にかかわらず、比摩耗量が少なかった。
収録刊行物
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- 同志社大学理工学研究報告
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同志社大学理工学研究報告 48 (3), [127]-133, 2007-10-31
同志社大学理工学研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390009224913040512
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- NII論文ID
- 110006493366
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- NII書誌ID
- AN00165868
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- NDL書誌ID
- 9275225
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- ISSN
- 00368172
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- departmental bulletin paper
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- データソース種別
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- JaLC
- IRDB
- NDLサーチ
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用可
