希ガス希釈水素プラズマによる銀表面へのナノ構造形成
書誌事項
- タイトル別名
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- Nano-structuring on silver surface by rare gas diluted hydrogen plasma
抄録
<p>我々は、局在表面プラズモンが励起され、微量化学センサーなどに利用可能な金属表面のナノポーラス構造を無毒廉価な水素ガスを用いて創成することを試みている。今回、銀表面のナノポーラス化機構の支配因子を検討するため、水素を希ガスにより希釈し、銀表面を高密度プラズマに曝露した。各水素濃度で得られたナノポーラス銀の表面形態から、その相関を明らかにするとともに、その形成機構を考察したので、それについて報告する。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 457-457, 2021-09-08
公益社団法人 精密工学会