大気圧VHFプラズマCVDによるSiO<i><sub>x</sub></i>機能性コーティングプロセスの研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Study of SiO<i><sub>x</sub></i> functional coating process by atmospheric pressure VHF plasma CVD
抄録
<p>我々は大気圧プラズマCVD法を用いた低温かつ高速なSiOx薄膜の形成技術の開発を進めている。今回、HMDSO(hexamethyldisiloxane)とポリスチレン粒子を用いて形成した、密着性が高くポーラスなSiOx薄膜について、膜構造や反射防止特性を調べたので発表する。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 455-456, 2021
公益社団法人 精密工学会