高温アニールによる転位密度10<sup>7</sup>cm<sup>-2</sup>のAlNテンプレート作製
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of AlN Templates with Dislocation Density of 10<sup>7</sup> cm<sup>-2</sup> by High-temperature Annealing
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 178-178, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会