イオン注入されたアモルファスInGaZnO膜の抵抗値熱安定性
書誌事項
- タイトル別名
-
- Thermal stability of resistance of ion-implanted amorphous-InGaZnO film
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2978-2978, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会
