RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO<sub>3</sub>膜のBAW・SAW特性
書誌事項
- タイトル別名
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- BAW and SAW Characteristics of (K,Na)NbO<sub>3</sub> Films Deposited by RF Sputtering
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 390-390, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会