(Sc<i><sub>x</sub></i>Al<sub>1-<i>x</i></sub>)N薄膜の強誘電性の温度依存性
書誌事項
- タイトル別名
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- Temperature dependence of the ferroelectricity in (Sc<i><sub>x</sub></i>Al<sub>1-<i>x</i></sub>)N thin films
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1188-1188, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会