深掘りBoschエッチングプロセスにおけるマスク材料依存性
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- 田中 宏幸
- 産総研
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- 野沢 善幸
- ミニマルファブ SPPテクノロジーズ
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- 速水 利泰
- ミニマルファブ SPPテクノロジーズ
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- クンプアン ソマワン
- 産総研 ミニマルファブ
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- 原 史朗
- 産総研 ミニマルファブ
書誌事項
- タイトル別名
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- A Study of dependence of deep Bosch etching process on mask material
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2316-2316, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会