Pt及び透明酸化物電極上でのHfO<sub>2</sub>系薄膜の結晶化

DOI

福島宏昌

兵庫県立大学工
藤沢浩訓

兵庫県立大学工
中嶋誠二

兵庫県立大学工
小南真

兵庫県立大学工

書誌事項

タイトル別名

Crystallization of HfO<sub>2</sub>-based thin films on Pt and transparent conductive oxide electrodes

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 1367-1367, 2019-09-04

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390011340284160512
DOI

10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1367
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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