MOSFETにおけるフォノン熱輸送のボルツマン方程式に基づくTCADシミュレーション
書誌事項
- タイトル別名
-
- TCAD Simulation of Phonon Thermal Transport in MOSFETs on the Basis of Boltzmann Equation
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 2988-2988, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会