ピコ秒レーザPLD法を用いたGaNトンネル接合コンタクトの形成

DOI

児玉和樹

名古屋大
小笠原直

京都工芸繊維大
内藤一樹

大陽日酸
小田修

名古屋大
堀勝

名古屋大
上田大助

名古屋大

書誌事項

タイトル別名

Formation of tunnel junction contact for GaN grown by pico-second laser PLD method

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3245-3245, 2019-09-04

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390011340292344064
DOI

10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3245
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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