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GaAs基板を用いたマイクロレンズの設計
DOI
神原 誉
愛媛大院理工
佐々木 大志
愛媛大院理工
今岡 達哉
愛媛大院理工
下村 哲
愛媛大院理工
書誌事項
タイトル別名
Design of micro-lens fabricated on GaAs substrates
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3435-3435, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
18p-B31-14
結晶工学
III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎
MBE
エッチング
GaAs
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390011340300471552
DOI
10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3435
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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