顕微ラマンイメージングによる高温領域におけるAu/Ti/Cr電極付n形GaN結晶の残留応力分布に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- A study of distribution of residual stress on n type GaN in contact with the Au/Ti/Cr film electrode by micro-Raman imaging in high temperatures
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3528-3528, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会