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2段階バッファ層を用いたメタモルフィックInAs/GaSb超格子の作製と評価
DOI
今村 優希
宮崎大工
大濱 寛士
宮崎大工
前田 幸治
宮崎大工
荒井 昌和
宮崎大工
書誌事項
タイトル別名
Growth and Evaluation of Metamorphic InAs/GaSb Superlattice using MOVPE
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3425-3425, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
18p-B31-4
結晶工学
III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎
Sb系混晶
有機金属気相成長法
メタモルフィック
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390011340308318592
DOI
10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3425
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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