深紫外近接場光学顕微鏡の開発とAlリッチAlGaN系特異構造のPLマッピング評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of a deep-ultraviolet scanning near-field optical microscope for PL mapping analysis of Al-rich AlGaN singularity-structures
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 209-209, 2019-02-25
公益社団法人 応用物理学会