X線トポグラフによる<i>β</i>-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>基板の転位評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of Dislocations in <i><i>beta</i></i>-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> by X-ray Topography
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3635-3635, 2019-02-25
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390011727209664128
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC