斜入射干渉計によるきさげ加工面のマイクロ表面形状の測定
書誌事項
- タイトル別名
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- Measurement of micro-surface forms of the hand-scraped surface using an oblique-incident interferometer
抄録
<p>きさげ加工は定盤や摺動面の平滑化を目的とした手仕上げ加工である．きさげ加工面に形成される深さ数μmの微小凹凸は潤滑油の油溜りとなり，摺動特性に向上させると言われている．しかしながら，きさげ加工面は粗面のため，一般的な垂直入射式干渉計による表面形状測定が困難である．本研究ではきさげ加工面の形状測定を目的とし，斜入射干渉計によるきさげ加工面微細形状の非接触三次元測定に取り組んだ結果について報告する．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 605-605, 2022-03-02
公益社団法人 精密工学会