ScAlN薄膜/水晶基板上を伝搬する縦型リーキーSAWに水晶カット角とSAW伝搬方向が及ぼす影響
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of quartz cut angle and SAW propagation direction on characteristics of LLSAWs on ScAlN film/quartz substrate
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 400-400, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会