Evaluation of 36° <i>Y</i>-cut LiTaO<sub>3</sub> with SiO<sub>2</sub> thin film by the line-focus-beam ultrasonic material characterization system

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  • 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるSiO<sub>2</sub>薄膜装荷36°<i>Y</i>カットLiTaO<sub>3</sub>の評価

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