バイオテンプレート極限加工を用いたSiナノ構造熱電モジュールの作製と特性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication and evaluation of Si nano-struture thermoelectric modules based on Bio-template and Top-down process.
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 1963-1963, 2017-03-01
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390012711637355520
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
