<i>m</i>面AlN 基板上に成長したAlGaN のSiドーピングによる格子緩和抑制
書誌事項
- タイトル別名
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- Suppression of lattice relaxation of AlGaN on <i>m</i>-plane AlN substrates by Si doping
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 3394-3394, 2017-03-01
公益社団法人 応用物理学会