ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究（第4報）
書誌事項
- タイトル別名
-
- Nanoparticle sizing for poly-dispersed particles using nanoparticle chip (4th report)
- Evaluation of equivalent height diameter
- 粒子の高さ相当径の評価
説明
<p>これまでに筆者らは，液中に分散するナノ粒子の粒度分布を測定するため，ナノ粒子チップを用いた粒度分布測定技術を提案している．提案手法では，液中に分散する一次粒子・二次粒子を規則的に配列することにより，各測定点で配置された粒子の凝集状態を液中にあるときと同様に保ったまま，ナノ粒子の粒径を計測できる．これまでに，100nm以上の粒子について，SEMを用いてその粒度分布を測定し，提案手法の妥当性を確認されている．100nm以下のような小さい粒子に対して，SEMによる画像解析法は，正確な粒径の測定が困難という問題点がある．本研究では，より精度が高いAFMを測定器として選択し，提案手法の測定できる粒径範囲を広げることを目指している．</p>
収録刊行物
-
- 精密工学会学術講演会講演論文集
-
精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 189-190, 2022-08-25
公益社団法人 精密工学会