フェムト秒レーザによるナノ多結晶ダイヤモンド工具成形とサファイアキャピラリ加工のプロセスチェーン

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  • 片平 和俊
    国立研究開発法人理化学研究所 開拓研究本部大森素形材工学研究室

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  • フェムトビョウ レーザ ニ ヨル ナノ タケッショウ ダイヤモンド コウグ セイケイ ト サファイアキャピラリ カコウ ノ プロセスチェーン

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