単結晶ダイヤモンド製圧子を用いた超音波援用マイクロプレス加工によるマイクロレンズアレイ金型の超精密成形

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  • タンケッショウ ダイヤモンドセイアツコ オ モチイタ チョウオンパ エンヨウ マイクロプレス カコウ ニ ヨル マイクロレンズアレイ カナガタ ノ チョウセイミツ セイケイ

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