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トリメチルボラジンからの<i>a</i>-BCN膜の作製
DOI
河越 奈沙
東工大
山本 哲也
日本触媒
中野 雅之
東京高専
岩本 喜直
i-Motto
松尾 誠
i-Motto
稗田 純子
東工大
大竹 尚登
東工大
赤坂 大樹
東工大
書誌事項
タイトル別名
<i>a</i>-BCN films synthesized from tri-methylborazine
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1294-1294, 2016-03-03
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
20p-H103-15
薄膜・表面
カーボン系薄膜
B-C-N系薄膜
アモルファスBCN膜
トリメチルボラジン
硬さ
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390013972156648576
DOI
10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1294
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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