GaN薄膜成長におけるHfNバッファ層の検討

DOI

篠塚正之

東大生研
太田実雄

東大生研
綿引康介

東大生研
金惠蓮

東大生研
上野耕平

東大生研
小林篤

東大生研
藤岡洋

東大生研 JST-ACCEL

書誌事項

タイトル別名

Investigation of HfN buffer layers for GaN growth

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 3149-3149, 2015-08-31

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390014348396167296
DOI

10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_3149
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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