イオン液体EMIM-DCAイオンビームのスパッタリング特性

DOI

星出優輝

京大光電子教育研究セ
竹内光明

京大光電子教育研究セ
龍頭啓充

京大光電子教育研究セ
高岡義寛

京大光電子教育研究セ

書誌事項

タイトル別名

Sputtering Characteristics of Ionic Liquid EMIM-DCA Ion Beams

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 1597-1597, 2015-02-26

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390014591546751872
DOI

10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1597
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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